⚙️ Cảm biến chân không Micro-Ion GAUGE Granville-Phillips 354001-YE-T – Đo áp suất cực thấp với độ chính xác vượt trội.

Các Modem tương tự:

354004-YE-T ; 354006-YE-T ; 354009-YE-T ; 20354014-TD-T ; 354004-YEM-T ; 354006-YM-T ; 354009-YM-T

Granville-Phillips 354001-YE-T là mô-đun cảm biến áp suất chân không Micro-Ion cao cấp thuộc Series 354 của MKS – thương hiệu hàng đầu thế giới về thiết bị đo chân không chính xác. Với thiết kế tích hợp đầu dò ion hóa và mạch điều khiển trong cùng một khối nhỏ gọn, thiết bị này mang đến khả năng đo áp suất chân không cực thấp từ 5 x 10⁻² Torr đến 1 x 10⁻⁹ Torr, chính xác và ổn định vượt trội so với các cảm biến Bayard-Alpert truyền thống.

🌟 Đặc điểm nổi bật

🧪 Dải đo rộng: Đo áp suất chân không từ 1 x 10⁻⁹ đến 5 x 10⁻² Torr (0.00013 Pa đến 6.7 Pa)
⚡ Công nghệ Micro-Ion độc quyền: Tăng độ chính xác và độ lặp lại của phép đo
🔄 Hai filament: Gia tăng độ bền, giảm thời gian dừng máy
🧼 Cấu trúc siêu sạch: Đáp ứng tốt khi hút chân không nhanh
🛡️ Vỏ kim loại chống nhiễu: Tăng độ ổn định tín hiệu, đạt chuẩn CE
🔌 Tùy chọn giao tiếp đa dạng: Analog, RS-485, hoặc DeviceNet™
📟 Màn hình LED (tuỳ chọn): Hiển thị áp suất tại chỗ thuận tiện
💡 Độ nhạy cao: Lên đến 20/Torr, giới hạn tia X thấp hơn 3 x 10⁻¹⁰ Torr

📊 Thông số kỹ thuật

Thông số	Giá trị
Model	Granville-Phillips 354001-YE-T
Series	Micro-Ion® Gauge Module Series 354
Dải đo áp suất (Air/N2)	1 x 10⁻⁹ Torr đến 5 x 10⁻² Torr (10⁻⁷ Pa đến 7 Pa)
Công nghệ đo	Đầu dò ion hóa kiểu Micro-Ion
Dòng phát xạ	0.1 mA hoặc 4 mA
Chức năng làm sạch (Degas)	Electron bombardment, 3W, hẹn giờ 2 phút
Chất liệu filament	Iridium phủ yttria hoặc Tungsten
Vật liệu tiếp xúc khí	Inox 304, Alumina, Tantalum, Tungsten, Kovar®, CuAg eutectic
Giao tiếp tùy chọn	Analog (0–9V log), RS-485, DeviceNet™
Tùy chọn hiển thị	LED 2 số + số mũ (option)
Kết nối	9-pin D-sub male
Nguồn cấp	24VDC ±15%, 12W max
Nhiệt độ hoạt động	0°C đến +40°C (không ngưng tụ)
Nhiệt độ không hoạt động	-40°C đến +70°C
Nhiệt độ bakeout (khi tháo điện tử)	Tối đa 200°C
Khối lượng	~370g (kèm mặt bích NW16KF)
Thể tích trong cảm biến	10.8 cm³
Độ nhạy	20/Torr, 15/mbar, 0.15/Pa
Giới hạn nhiễu tia X	< 3 x 10⁻¹⁰ Torr

🏭 Ứng dụng

Các hệ thống chân không cao (HV) trong phòng thí nghiệm và công nghiệp
Thiết bị phân tích bề mặt, vi điện tử, buồng phản ứng plasma
Hệ thống phủ màng mỏng (PVD, CVD), SEM, FIB, và các ứng dụng R&D chân không khác
Trạm kiểm tra và điều khiển trong dây chuyền sản xuất linh kiện bán dẫn

🛒 Mua hàng

Chúng tôi cung cấp Micro-Ion Gauge Granville-Phillips 354001-YE-T chính hãng từ MKS, đầy đủ tài liệu, hỗ trợ kỹ thuật lắp đặt và vận hành. Liên hệ ngay để nhận báo giá và tư vấn chọn model phù hợp cho hệ thống chân không của bạn!

Cảm biến chân không Micro-Ion GAUGE Granville-Phillips 354001-YE-T