Canon Anelva M-336MX-SP/N25 – Đồng hồ đo chân không Crystal Ion Gauge chính xác cao
Canon Anelva M-336MX-SP/N25 là thiết bị đo áp suất chân không cao cấp, sử dụng công nghệ Crystal Ion Gauge để đo dải áp suất vô cùng rộng từ chân không thấp đến siêu chân không, rất phù hợp với các ứng dụng trong chân không công nghiệp, bán dẫn, thiết bị xử lý bề mặt và phòng thí nghiệm kỹ thuật cao.
📌 Tổng quan về M-336MX-SP/N25
M-336MX-SP/N25 là phiên bản có mặt bích NW25, cho phép lắp đặt trực tiếp vào buồng chân không hoặc hệ thống ống chân không tiêu chuẩn. Thiết bị này là sự kết hợp giữa:
✅ Crystal Gauge – cho độ lặp lại và độ nhạy cao trong dải chân không thấp
✅ Miniature B-A Gauge (ion gauge) – cho phép đo chính xác ở dải chân không cao và siêu cao
Điều này giúp M-336MX-SP/N25 đo được áp suất từ ~4×10⁻⁸ Pa đến 1×10⁵ Pa, tức là từ chân không siêu cao đến gần khí quyển, chỉ với một cảm biến duy nhất.
📊 Thông số kỹ thuật chính
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Model | M-336MX-SP/N25 |
| Loại thiết bị | Crystal Ion Vacuum Gauge |
| Dải đo áp suất | 4×10⁻⁸ – 1×10⁵ Pa |
| Điện áp hoạt động | DC +20 – 28 V |
| Công suất tiêu thụ | 12 W |
| Ngõ ra analog | 0 – 10 V |
| Ngõ ra set-point | 2 tiếp điểm |
| Kết nối I/O | D-sub 9 chân |
| Kích thước | 149 × 70 × 50 mm (NW25) |
| Phạm vi nhiệt độ hoạt động | 5 – 50 °C |
| Chuẩn bảo vệ | IP40 |
| Flange | NW25 tiêu chuẩn chân không công nghiệp |
🚀 Ưu điểm nổi bật
🌟 Đo áp suất cực rộng chỉ với một thiết bị
Không cần dùng nhiều cảm biến riêng lẻ, M-336MX-SP/N25 có thể đo từ áp suất khí quyển đến ultra-high vacuum, giúp giảm chi phí hệ thống đo lường và tối ưu thiết kế chân không.
🌟 Độ chính xác và độ lặp lại cao
Công nghệ Crystal Gauge đảm bảo độ lặp lại tín hiệu tốt ở dải chân không thấp, rất phù hợp cho máy bơm chân không, quá trình xử lý bề mặt và kiểm tra chất lượng chân không.
🌟 Tích hợp tín hiệu analog chuẩn công nghiệp
Ngõ ra 0 – 10 V giúp kết nối dễ dàng với PLC, hệ thống SCADA, bộ ghi dữ liệu hay bộ điều khiển trung tâm.
🌟 Set-point 2 tiếp điểm hỗ trợ tự động hóa
Hiển thị cảnh báo hoặc điều khiển theo mức áp suất mong muốn trong hệ thống tự động.
📌 Ứng dụng thực tế
M-336MX-SP/N25 được ứng dụng rộng rãi trong:
🔹 Hệ thống chân không công nghiệp – đo áp suất buồng hút, buồng nhà máy xử lý bề mặt
🔹 Thiết bị sản xuất bán dẫn – đảm bảo chân không chính xác trong quy trình lắng đọng, khắc
🔹 Phòng thí nghiệm nghiên cứu – đo chân không cao và ultra-high vacuum
🔹 Hệ thống kiểm tra chân không – giám sát và điều khiển theo yêu cầu kỹ thuật cao
🔹 Dây chuyền xử lý bề mặt và phủ màng – PVD, CVD, sputtering, ion implantation, v.v.
🔧 Thay thế & linh kiện tương thích
✔️ Phiên bản RS485 (M-336MX-RS/N25) – hỗ trợ giao tiếp số RS485
✔️ Các mặt bích khác: NW16, NW40, φ70ICF – phù hợp đa hệ thống
📈 Lợi ích khi mua tại KINTECH
– Hàng chính hãng Anelva / Canon Nhật Bản
– Tư vấn chọn model đúng nhu cầu dải đo và môi trường sử dụng
– Hỗ trợ kỹ thuật và hướng dẫn tích hợp vào PLC/SCADA
– Giao hàng nhanh & bảo hành chuyên nghiệp
📌 Kết luận
Canon Anelva M-336MX-SP/N25 là giải pháp đo áp suất chân không đa năng – chính xác – bền bỉ cho hệ thống chân không công nghiệp và thiết bị sản xuất bán dẫn. Với dải đo vượt trội và thiết kế kỹ thuật chuẩn, đây là lựa chọn lý tưởng cho cả ứng dụng bảo trì định kỳ lẫn thiết kế hệ thống mới.